В рамках макроскопічного підходу здійснено апроксимаційне спрощення самого загального співвідношення моделі Р.Дімміха до вигляду, придатного для порівняння з експериментом. Проведено порівняння розрахункових та експериментальних значень термічного коефіцієнта опору для багатошарових металевих плівок. Проаналізовано причини якісного узгодження теоретичної моделі з експериментом.

Розглянуто теоретичні положення та напрями розвитку мікроелектроніки. Наведено характеристику основних типів інтегральних мікросхем (ІМС). Викладено фізичні основи мікроелектроніки, зокрема розглянуто електронну електропровідність, рухливість носіїв заряду, контактні явища у мікроелектронних структурах, ефект Ганна, поверхневі явища у напівпровідниках. Визначено будову, принципи функціонування, технічні параметри та сферу застосування напівпровідникових ІМС. Охарактеризовано гібридні та великі інтегральні мікросхеми. Висвітлено перспективи розвитку сучасних галузей електроніки.

Рассмотрены теоретические положения и направления развития микроэлектроники. Приведена характеристика основных типов интегральных микросхем (ИМС). Изложены физические основы микроэлектроники, в частности рассмотрены электронная электроповодность, движение носителей заряда, контактные явления в микроэлектронных структурах, эффект Ганна, поверхностные явления в полупроводниках. Охарактеризованы строение, принципы функционирования, технические параметры и сфера применения полупроводниковых ИМС. Рассмотрены гибрыдные и большие интегральные микросхемы. Освещены перспективы развития современных отраслей электроники.

Проаналізовано взаємозв'язок між магніторезистивними та електрофізичними властивостями плівкових матеріалів, зокрема, мультишарів і гранульованих сплавів, а також структурно-фазовим станом, процесами взаємної дифузії атомів та інтерфейсним розсіюванням електронів у багатошарових металевих плівках, визначено їх тензочутливість. Розглянуто питання застосування тензорезисторів на основі плівкових матеріалів.

Проанализирована взаимосвязь между магниторезистивными и электрофизическими свойствами пленочных материалов, в частности, мультишаров и гранулированных сплавов, а также структурно-фазовым состоянием, процессами взаимной диффузии атомов и интерфейсным рассеиванием электронов в многослоевых металлических пленках, определена их тензочувствительность. Рассмотрены вопросы применения тензорезисторов на основе пленочных материалов.

Представлено результати досліджень тензорезистивного ефекту в одношарових плівках Cr, Cu і Sc та тришарових на основі цих металів. Проведено порівняння коефіцієнта поздовжньої тензочутливості одношарових і тришарових плівок.

Запропоновано методику одержання термічного коефіцієнта опору за допомогою методу термічної обробки двошарової плівки метал/напівпровідник.

Індекс рубрикатора НБУВ: К230.633.151 + К230.73

Рубрики:

Вплив обробки тиском на структуру і властивості кольорових металів і сплавів

Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Наведено результати дослідження дифузійних процесів (ДП) у нанокристалічній двошаровій плівковій системі Fe/Cr. Підтверджено вагомість впливу конденсаційно-стимульованої дифузії на етапі формування верхнього шару на перебіг ДП.

Представлено стислий огляд літературних даних про магніторезистивні і електрофізичні властивості багатошарових плівкових систем періодичного (мультишари) або загального типу на основі Fe і Cr. Проаналізовано питання про вплив іонного опромінення на ефект гігантського магнітного опору та про перспективи технічного застосування названих плівкових матеріалів.

Здійснено аналіз відомих літературних даних про явище тензоефекту в тонких і товстих плівках металів, сплавів або композиційних матеріалів з металевою основою. Розглянуто відомі напівкласичні та феноменологічні моделі для одно- і багатошарових плівкових систем, наведено результати їх апробації і зазначено ступінь відповідності розрахункових і експериментальних результатів. Зроблено висновок про значну роль т.зв. деформаційних ефектів, врахування яких дає гарне узгодження із експериментальними даними. Проаналізовано найменш вивчені питання фізики тонких плівок про температурну залежність коефіцієнтів поздовжньої та поперечної тензочутливості. Наведено числові експериментальні результати, які підтверджують теоретичні висновки. Проаналізовано різні аспекти практичного застосування плівкових матеріалів як чутливих елементів тензодатчиків.

Здійснено аналіз відомих літературних даних про явище тензоефекту в тонких і товстих плівках металів, стопів або композиційних матеріалів з металевою основою. Розглянуто відомі напівкласичні та феноменологічні моделі для одно- і багатошарових плівкових систем, наведено результати їх апробації і вказано ступінь відповідності розрахункових і експериментальних результатів. Зроблено висновок про значну роль так званих деформаційних ефектів, врахування яких дає хороше узгодження з експериментальними даними. Проаналізовано найменш вивчене питання фізики тонких плівок про температурну залежність коефіцієнтів поздовжньої та поперечної тензочутливості. Наведено численні експериментальні результати, які підтверджують теоретичні висновки. Проаналізовано різні аспекти практичного застосування плівкових матеріалів як чутливих елементів тензодавачів.

Індекс рубрикатора НБУВ: К235.120.26 + В372

Рубрики:

Структура твердих тіл

Шифр НБУВ: Ж69231 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Представлено узагальнені літературні дані та результати власних експериментальних досліджень структурно-фазового стану, стабільності інтерфейсів та електрофізичних властивостей (термічний коефіцієнт опору (ТКО) і коефіцієнт поздовжньої тензочутливости (КТ)) двошарових плівкових систем Cu/(Co, Ag або Au), Cu/(Cr або Fe) та Fe/Cr. Вибір указаних систем пов'язаний із стабілізацією в них різних структурно-фазових станів: гранульованих твердих розчинів (систем на основі Cu і Co, Ag або Au), твердого розчину (Fe/Cr), двошарових систем із збереженням індивідуальності окремих шарів (біпластин) (систем Cu/Cr і Cu/Fe (до 700 К)). Експериментальні результати з ТКО і КТ задовільно або добре узгоджуються зі співвідношеннями для ТКО і КТ біпластини, плівкового стопу або двошарової системи із проміжним шаром твердого розчину біля інтерфейсу. Це слугує додатковим аргументом на користь висновків про структурно-фазовий стан двошарової системи.

Індекс рубрикатора НБУВ: К202.6

Рубрики:

Тонкі шари (плівки) металів і сплавів

Шифр НБУВ: Ж69231 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Запропоновано феноменологічну модель електрофізичних властивостей (питомий опір і термічний коефіцієнт опору) для плівкових гранульованих сплавів, які утворюються в дво- чи багатошарових плівкових системах на базі магнітних і немагнітних металів із обмеженою розчинністю в масивних зразках.

Наведено результати експериментальних і теоретичних досліджень електрофізичних і магніторезистивних плівкових матеріалів (ПМ) (багатошарові плівки, мультишари, гранульовані сплави), в яких відбуваються процеси взаємної дифузії та твердофазні реакції. Проаналізовано особливості дифузійних процесів і тензорезистивні властивості в області пружної і пластичної деформації нанорозмірних плівкових систем (ПС). Описано магніторезистивні та електрофізичні властивості ПС за умов взаємної дифузії атомів. Викладено методику експериментального вивчення інтерфейсного розсіювання електронів. Визначено зовнішній розмірний ефект в тензочутливості одношарових плівок, тензочутливість дво- і багатошарових ПС, температурну, польову та деформаційну залежність коефіцієнтів тензочутливості. Розглянуто питання застосування тензорезисторів на основі ПМ.

Висвітлено теоретичні основи та практичні питання фізики твердого тіла, зокрема, його будову та зонну теорію, електронну теорію металів, напівпровідників та магнетиків, динаміку кристалічної решітки. Описано елементи симетрії, теорії пружності, квантової теорії пружних хвиль у кристалі, статистики електронів у напівпровідниках з власною провідністю, теорії Ландау для фазових переходів другого роду. Визначено теплоємність кристалів за низьких та високих температур, енергетичний спектр електронів у кристалі, вироджений електронний фермі-газ у металах, взаємодію в упорядкованих магнетиках.

Освещены теоретические основы и практические вопросы физики твердого тела, в частности, его структура и зонная теория, электронная теория металлов, полупроводников и магнетиков, динамика кристаллической решетки. Описаны элементы симметрии, теории упругости, квантовой теории упругих волн в кристалле, статистики электронов в полупроводниках с собственной проводимостью, теории Ландау для фазовых переходов второго рода. Определены теплоемкость кристаллов при низких и высоких температурах, энергетический спектр электронов в кристалле, вырожденный электронный ферми-газ в металлах, взаимодействие в упорядоченных магнетиках.

Проаналізовано літературні дані стосовно механічних і тензорезистивних властивостей масивних конденсатів і нанорозмірних плівок у випадку пружної і пластичної деформації. Представлено результати дослідження тензорезистивних властивостей одношарових (Fe, Cr, Pd і Pt) та двошарових (Fe/Cr, Cu/Cr і Pd/Fe) плівок, зокрема залежності величини деформації, за якої відбувається перехід від пружної до пластичної деформації, від товщини.

Індекс рубрикатора НБУВ: В378.26 + К222.026

Рубрики:

Тонкі шари металів

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 

Исследованы тензорезистивные свойства двухслойных пленок Mo/Ni и Mo/Fe. Проведен численный расчет параметров электропереноса, деформационных коэффициентов и вкладов в величину коэффициента тензочувствительности объёмного, поверхностного, зернограничного и интерфейсного рассеяния электронов. Проведена апробация теоретической модели тензочувствительности с учетом деформационных эффектов.

Выполнены исследования размерного эффекта в магнитосопротивлении тонких плёнок Pd (интервал толщин - 15 - 45 нм). На основе полученных результатов впервые выполнена апробация классической теоретической модели Телье и Тоссе для продольного магнитосопротивления. Получено удовлетворительное соответствие экспериментальных и теоретических (на основе модели) данных, сделан вывод о том, что теоретическая модель более эффективно учитывает зернограничное рассеяние электронов проводимости.